Four-Terminal Measurement-四线测量法
四线测量法也称为四线感测法、四点探针法或 Kelvin 感测法。
此方法可以准确测量待测物 (UUT) 的电阻,以便消除转接中的内部转换电阻。
对于待测物的每个测量点,需要在开关矩阵中并联两个测试点。这些测试点可由 Sense测量 和 Force激励 线通过转接与待测物相连接。可通过管脚表中的相应管脚标识激活四线测量法。
在四线测量法过程中,发生器提供恒定电流。电阻 (RMEAS) 上的电压降可通过高阻抗电压测量装置(VMU—参见测量装置)进行测量。这样不仅可测量满足阈值,而且电阻测量精度可达到毫欧姆范围。